发明名称 Verfahren zum Bilden von spannungsbelasteten Nanodrahteinheiten
摘要 Verfahren zum Bilden einer Nanodrahteinheit (7, 14, 25, 38, 40), wobei das Verfahren Folgendes aufweist: Bilden eines Nanodrahts (20, 30) derart, dass jedes Ende des Nanodrahts an einem Träger (22, 31, 32) befestigt ist; nach dem Bilden des Nanodrahts Bilden einer Stressorschicht (6, 13, 23, 33), welche den Nanodraht außen umgibt; und Freilegen des Nanodrahts (20, 30) von dem Träger zumindest an einem Ende des Nanodrahts, wobei durch die Stressorschicht (23, 33) zumindest eine longitudinale Spannung auf den Nanodraht ausgeübt wird, um die Beweglichkeit der Ladungsträger in dem Nanodraht zu erhöhen.
申请公布号 DE112011103806(B4) 申请公布日期 2016.02.18
申请号 DE201111103806T 申请日期 2011.11.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GOTSMANN, BERND W.;KARG, SIEGFRIED FRIEDRICH;RIEL, HEIKE E.
分类号 H01L29/66;B82Y10/00;B82Y40/00;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/161;H01L29/775;H01L29/786 主分类号 H01L29/66
代理机构 代理人
主权项
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