| 摘要 |
본 발명의 과제는 처리 블록의 설치 면적을 억제하는 동시에 장치의 가동 효율의 저하를 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것이다. 검사 모듈에 의한 검사에서 기판에 이상이 검출되었을 때에, 기억부에 기억된 데이터에 기초하여, 후속의 기판의 반송 모드를, 모드 M1 및 M2로부터 선택하기 위한 모드 선택부를 구비하도록 도포, 현상 장치를 구성한다. 상기 모드 M1은 현상 처리용 단위 블록에 있어서의 기판이 처리된 모듈을 특정하여, 후속의 기판을, 특정된 모듈 이외의 모듈로 반송하도록 단위 블록용 반송 기구의 동작을 제어하는 모드이고, 상기 모드 M2는 기판이 처리된 현상 처리용 단위 블록을 특정하여, 후속의 기판을, 특정된 현상 처리용 단위 블록 이외의 현상 처리용 단위 블록으로 반송하도록 전달 기구의 동작을 제어하는 모드이다. |
