Verfahren zum Ermitteln von Abstandskorrekturwerten beim Laserbearbeiten eines Werkstücks und zugehörige Laserbearbeitungsmaschine

摘要

Bei einem Verfahren zum Ermitteln von Abstandskorrekturwerten (&Dgr;A) eines Sollabstandes zwischen einer an einem Laserbearbeitungskopf (3) angeordneten Laserbearbeitungsdüse (8) und einem Werkstück (6) beim Laserbearbeiten des Werkstücks (6), wobei beim Laserbearbeiten der Abstand (A) der entlang einer Soll-Bewegungsbahn bewegten Laserbearbeitungsdüse (8) zum Werkstück (6) kapazitiv gemessen und auf den korrigierten Sollabstand geregelt wird, wird erfindungsgemäß das Werkstück (6) sowohl mit der Laserbearbeitungsdüse (8) als auch mit einem anstelle der Laserbearbeitungsdüse (8) an dem Laserbearbeitungskopf (3) angeordneten Messkopf (11), welcher eine geringere laterale Empfindlichkeit der Kapazitätsmessung als die Laserbearbeitungsdüse (8) aufweist, jeweils unter Vorgabe eines Sollabstands abgefahren und dabei die abgefahrene Bewegungsbahn der Laserbearbeitungsdüse (8) bestimmt. Aus den mit der Laserbearbeitungsdüse (8) und mit dem Messkopf (11) bestimmten Bewegungsbahnen werden dann die Abstandskorrekturwerte (&Dgr;A) für den Sollabstand der Laserbearbeitungsdüse (8) entlang der Soll-Bewegungsbahn beim Laserbearbeiten des Werkstücks (6) ermittelt.