Micro plasma jet device laminate type micro plasma jet module and manufacturing method thereof

摘要

본 발명에 따른 마이크로 플라즈마 분사 소자는, 플라즈마 발생용 기체가 통과할 수 있도록 병렬로 배열된 다수의 미세유로채널이 형성된 채널층; 상기 채널층의 일면에 접합되며 제1 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제1 절연층; 및 상기 채널층의 타면에 접합되며 제2 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제2 절연층을 포함하는 것을 특징으로 한다.