METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR SUBSTARTE AND METHOD OF FABRICATING LIGHE EMITTING DEVICE

摘要

반도체 기판 제조 방법 및 발광 소자 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 반도체 기판의 제조 방법은 기판 상에 제1 반도체층을 형성하는 단계, 상기 제1 반도체층 상에 제2 반도체층을 형성하되, 상기 제2 반도체층을 형성하는 동안, 상기 제1 반도체층에서는 복수의 공동이 형성되는 단계 및 상기 제2 반도체층 상에 활성층을 포함하는 복수의 화합물 반도체층을 형성하는 단계를 포함한다.