一种制作太阳能电池的扩散方法

摘要

本发明公开了一种制作太阳能电池的扩散方法，包括：将待处理的硅片放入扩散炉中，将扩散炉的温度升高至第一设定温度；在第一设定温度下，向扩散炉中通入携磷源气体、氧气、氮气，在硅片表面进行磷源扩散；将扩散炉的温度由第一设定温度逐渐升高至第二设定温度，在温度升高的过程中向扩散炉中通入氧气和氮气，进行推结，使磷原子扩散至硅片内部；降低扩散炉的温度，完成扩散过程，取出制结后的硅片。该扩散方法能提高扩散薄膜层电阻的均匀性，提高太阳能电池的转换效率，进而提高太阳能电池的性能。

主权项

一种制作太阳能电池的扩散方法，其特征在于，包括：将待处理的硅片放入扩散炉中，其中，待处理的硅片为电阻率为0.5～3的P型单晶硅，将所述扩散炉的温度升高至第一设定温度，所述第一设定温度为790度；在所述第一设定温度下，向所述扩散炉中通入携磷源气体、氧气、氮气，在所述硅片表面进行磷源扩散；将所述扩散炉的温度由第一设定温度逐渐升高至第二设定温度，在温度升高的过程中向所述扩散炉中通入氧气和氮气，进行推结，使磷原子扩散至所述硅片内部；降低所述扩散炉的温度，完成扩散过程，取出制结后的硅片；进行推结过程中向所述扩散炉中通入的氧气的量为向所述扩散炉中通入的携磷源气体和第一次通入的氧气的量之和。