一种硅片亲水性检测平台

摘要

本发明公开了一种硅片亲水性检测平台，包括：载片基板，所述载片基板的正面具有凹槽，所述凹槽用于承载待测硅片，所述凹槽的底面与所述载片基板的表面平行；刻度标尺，所述刻度标尺设置于所述载片基板上，沿着所述载片基板与所述凹槽的相交线设置，用于在硅片滴液后判断液滴扩散范围；水平基板，所述水平基板与所述载片基板的下端铰接，用于控制所述载片基板与所述水平基板的表面的角度。所述硅片亲水性检测平台使用载片基板承载硅片，测试稳定，倾斜角度可控，同时使用刻度标尺检测液滴亲水性效果，结果准确，判断方便。

主权项

一种硅片亲水性检测平台，其特征在于，包括：载片基板，所述载片基板的正面具有凹槽，所述凹槽用于承载待测硅片，所述凹槽的底面与所述载片基板的表面平行；刻度标尺，所述刻度标尺设置于所述载片基板上，沿着所述载片基板与所述凹槽的相交线设置，用于在硅片滴液后判断液滴扩散范围；水平基板，所述水平基板与所述载片基板的下端铰接，用于控制所述载片基板与所述水平基板的表面的角度。