长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法

摘要

长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法，属于光学技术领域。所述薄膜反射镜由第一聚酰亚胺薄膜层和第二聚酰亚胺薄膜层组成，两层聚酰亚胺薄膜之间通过密封圈实现密封连接，密封圈上设有充气孔，充气孔通过充气管与充气装置连接；第一聚酰亚胺薄膜层是透明层；第二聚酰亚胺薄膜层作为工作反射面，其靠近第一聚酰亚胺薄膜层的表面镀铝膜，另一侧表面镀铜膜。本发明的长波红外充气式薄膜反射镜可用于光学成像，作为系统主镜其结构简单、质量较小、成本低、可制成大口径光学系统。本发明通过镀膜膜层厚度的变化来实现充气式薄膜反射镜的反射面面形接近抛物面，这种方法工艺简单、易于实现和大规模推广，并且所生成的面形精度较高。

主权项

长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法，其特征在于所述主镜面形生成方法步骤如下：步骤一、计算充气式薄膜反射镜理想抛物面面形参数；步骤二、根据薄膜反射镜面形尺寸将聚酰亚胺薄膜至少分为10个均等圆环，对每个圆环分配镀膜厚度；步骤三、运用分层镀膜的方法，采用遮挡镀膜的方式分别从内向外进行预镀；步骤四、利用膜层厚度仪控制镀层厚度，将此厚度输出与计算得出的理想厚度进行比较，并运用补偿法对理论模型进行校准，使实际的镀膜厚度达到或者接近理论计算薄膜厚度。