一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置

摘要

本实用新型提供了一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，包括炉内底盘，夹持柱和拨柱轴尖；所述炉内底盘为一圆盘，所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔，所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔；所述拨柱轴尖包括轴尖、拨柱和连接轴，所述轴尖的侧壁顶端固定有拨柱，所述轴尖的下端面固定有连接轴；所述夹持柱包括支撑柱、夹持拨片和夹持片，所述支撑柱安装到所述夹持柱固定孔处，所述夹持拨片位于所述拨柱正下方。本实用新型所述的用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置结构简单，操作方便，通过夹持片的设置改善了夹持面积，从而改善了夹持的稳定性，减少了因夹持不稳对单晶生长造成的影响，提高了工时利用率，且制造成本较低。

主权项

一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，其特征在于：包括炉内底盘(1)，夹持柱(2)和拨柱轴尖(3)；所述炉内底盘(1)为一圆盘，所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔(11)，所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔(12)；所述拨柱轴尖(3)包括轴尖(31)、拨柱(32)和连接轴(33)，所述轴尖(31)为一中空圆柱体，所述中空圆柱体的纵截面为U形，所述轴尖(31)侧壁顶端固定有向外侧延伸的拨柱(32)，所述轴尖(31)的下端面固定有连接轴(33)，所述连接轴(33)上设有驱动所述连接轴(33)上下移动的电机，所述轴尖(31)设置于所述拨柱轴尖孔(12)内，且可在连接轴(33)的带动下沿所述拨柱轴尖孔(12)上下穿行，所述拨柱(32)处的外缘直径大于所述拨柱轴尖孔(12)的直径，可对拨柱轴尖(3)起限位作用；所述夹持柱(2)包括支撑柱(21)、夹持拨片(22)和夹持片(23)，所述支撑柱(21)的数量与所述夹持柱固定孔(11)的组数相同，且所述支撑柱(21)对应安装到所述夹持柱固定孔(11)处，所述夹持拨片(22)一端位于所述拨柱(32)正下方，所述夹持拨片(22)另一端与所述夹持片(23)的一端相连，所述夹持拨片(22)与所述夹持片(23)的连接端可转动的连接于所述支撑柱(21)的上部，所述夹持片(23)另一端位于区熔硅单晶(4)外侧，所述区熔硅单晶(4)从所述轴尖(31)内部长出。