发明名称 一种防缺陷多晶硅坩埚
摘要 本实用新型涉及一种防缺陷多晶硅坩埚,包括具有一敞口端的坩埚,其中,坩埚包括长方体槽状的坩埚本体,所述坩埚本体下面设置一内底面,所述内底面均匀设置有多个用于在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔,坩埚本体的内底面上设置有一多晶硅砂层,所述盲孔形成于所述多晶硅砂层上,通过热场与工艺的配合,控制长晶初期的过冷度,从而可以得到均匀的具有一定尺寸大小的小晶粒。本实用新型的防缺陷多晶硅坩埚制备成本低且形核点均匀、适宜。
申请公布号 CN205035497U 申请公布日期 2016.02.17
申请号 CN201520626089.2 申请日期 2015.08.19
申请人 无锡舜阳新能源科技有限公司 发明人 钟伟;陆文研
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I 主分类号 C30B29/06(2006.01)I
代理机构 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人 杨新勇
主权项 一种防缺陷多晶硅坩埚,其特征在于:包括具有一敞口端的坩埚,其中,坩埚包括长方体槽状的坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)下面设置一内底面,所述内底面均匀设置有多个用于在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔(2),坩埚本体的内底面上设置有一多晶硅砂层(3),所述盲孔(2)形成于所述多晶硅砂层(3)上。
地址 214400 江苏省无锡市江阴市长泾镇工业集中区兴园路123号