| 摘要 |
【課題】オートフォーカス機能を有しない場合でも、小型軽量で且つ高い信頼性で焦点位置を検出できる。【解決手段】微小粒子検出装置は、光源(８,１２)からの光をディスク(６)の検体に照射する照射光学系(１)と、上記検体中の微小粒子からの光を検出する光検出光学系と、上記微小粒子を検出する検出部と、上記照射光学系(１)で集光された光の焦点位置を検出するためのテストサンプルと、上記ディスク(６)および上記テストサンプルをホルダ(２６)に収容して回転させる回転駆動系とを備え、上記テストサンプルは、上記回転軸方向の第１レベルの位置に配された第１光散乱膜パターンと第２レベルの位置に配された第２光散乱膜パターンとを有し、上記光検出光学系は、上記両光散乱膜パターンから発せられた光を検出可能になっており、上記検出部は、上記検出された上記両光散乱膜パターンからの光の強度に基づいて、上記焦点位置を検出可能になっている。【選択図】図１ |
