一种真空沉积系统及其旋转馈入装置

摘要

本发明公开了一种真空沉积系统及其旋转馈入装置。真空沉积系统包括旋转馈入装置及真空腔室。旋转馈入装置安装于真空腔室的安装孔，其包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；第一固定组件的第一固定座上设有轴孔；第一动密封组件安装于轴孔中；传动轴绕自身轴向转动穿设第一动密封组件；第一直驱马达安装于第一固定组件。采用直驱马达作为动力源，第一直驱马达可直接驱动传动轴转动，其连接方式更加简捷，并使得整个旋转馈入装置的结构简捷轻巧，节约了整个装置的成本，且方便后期的设备安装维护；第一直驱马达的传动声音小、寿命长、控制精度更加准确，且工作时产生的振动小，可有效保证真空沉积系统的高精度、无污染。

主权项

一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动；所述第一动密封组件包括套筒、磁流体密封件及密封圈，所述套筒固定于所述轴孔中，所述密封圈设置在所述套筒与所述第一固定组件之间，所述传动轴绕自身轴向转动套设在所述套筒内，所述磁流体设置在所述套筒的内壁与所述传动轴之间。