发明名称 | 用于控制使用前馈调整的流量比控制器的方法及系统 | ||
摘要 | 本发明公开一种处理装置,该处理装置确定多个初始的流量设定点命令,多个设定点命令的每一设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门,并发送多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至多个阀门中的一相对应的阀门。处理装置针对于需要进行调整的流量状况来监控多个阀门。在检测到流量状况之后,处理装置基于先前的设定点来预测调整,并基于该预测的调整确定多个更新的流量设定点命令,所述多个更新的流量设定点命令的每一更新的流量设定点命令对应到所述多个阀门中的一个阀门。处理装置然后发送所述多个更新的设定点命令的每一更新的设定点命令至所述多个阀门的该相对应的阀门。 | ||
申请公布号 | CN105340058A | 申请公布日期 | 2016.02.17 |
申请号 | CN201480036792.6 | 申请日期 | 2014.06.24 |
申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 麻里乌斯·格雷戈尔 |
分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
主权项 | 一种方法,包含以下步骤:确定多个初始的设定点命令,所述多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门;发送所述多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至所述多个阀门中的一个相对应的阀门;针对于需要进行调整的流量状况来监控所述多个阀门;在检测到所述流量状况之后,基于先前的设定点来预测所述调整;由处理装置来确定多个更新的设定点命令,所述多个更新的设定点命令的每一更新的设定点命令基于所述预测的调整对应到所述多个阀门中的一个阀门;及发送所述多个更新的设定点命令的每一更新的设定点命令至所述多个阀门的所述相对应的阀门。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |