发明名称 测试键结构与测试键群组
摘要 一种测试键结构与测试键群组,该测试键结构包含有多个晶体管,设置在一晶圆的一切割道内,且排列成一2×N阵列,该2×N阵列包含有二直行与N横列。该等晶体管分别包含一栅极、一源极、一漏极与一基体,且该等晶体管的该等源极全部彼此电性连接。
申请公布号 CN105336731A 申请公布日期 2016.02.17
申请号 CN201410394926.3 申请日期 2014.08.12
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 王建国;侯俊良;廖文荣
分类号 H01L23/544(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L23/544(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 史新宏
主权项 一种测试键结构,包含有:多个晶体管,设置在晶圆的切割道内,且排列成2*N阵列,该2*N阵列包含有二直行与N横列,且所述晶体管分别包含栅极、源极、漏极与基体,其中所述晶体管的所述源极全部彼此电性连接。
地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区