发明名称 | 测试键结构与测试键群组 | ||
摘要 | 一种测试键结构与测试键群组,该测试键结构包含有多个晶体管,设置在一晶圆的一切割道内,且排列成一2×N阵列,该2×N阵列包含有二直行与N横列。该等晶体管分别包含一栅极、一源极、一漏极与一基体,且该等晶体管的该等源极全部彼此电性连接。 | ||
申请公布号 | CN105336731A | 申请公布日期 | 2016.02.17 |
申请号 | CN201410394926.3 | 申请日期 | 2014.08.12 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 王建国;侯俊良;廖文荣 |
分类号 | H01L23/544(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/544(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 史新宏 |
主权项 | 一种测试键结构,包含有:多个晶体管,设置在晶圆的切割道内,且排列成2*N阵列,该2*N阵列包含有二直行与N横列,且所述晶体管分别包含栅极、源极、漏极与基体,其中所述晶体管的所述源极全部彼此电性连接。 | ||
地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区 |