一种涂布的电晕电离源的方法与设备

摘要

一种电晕电离源组合及制作方法被描述为包括含有第一材料的线材芯的细线材，和含有第二材料的线材涂层，其中所述线材涂层包裹了部分所述线材芯，且所述线材涂层的直径大于所述线材芯的直径。此外，所述细线材可以耦合到标杆上。在实施方式中，采用本发明公开的技术制作电晕电离源组合的方法包括：形成线材芯，形成包裹所述线材芯的线材涂层，至少部分所述线材涂层上形成遮罩层，蚀刻所述线材涂层，和从所述线材涂层去除所述遮罩层。

主权项

一种电晕电离源组合，包括：细线材，该细线材包括：含有第一材料的线材芯；含有第二材料的线材涂层，其中，所述线材涂层包裹部分所述线材芯，且所述线材涂层的直径大于所述线材芯的直径。