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发明名称 基板処理装置および基板処理方法
摘要
申请公布号 JP5864355(B2) 申请公布日期 2016.02.17
申请号 JP20120109988 申请日期 2012.05.11
申请人 東京エレクトロン株式会社 发明人 橋 本 佑 介;長 峰 秀 一;伊 藤 規 宏
分类号 H01L21/304;B08B3/02;B08B3/04;H01L21/027 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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