适于生产硅的机械流化的反应器系统和方法

摘要

一种机械流化系统和方法，允许高效、低成本地生产硅。将颗粒提供至加热的托盘或盘，所述盘或托盘振荡或振动以提供反应表面。所述颗粒在托盘或盘中向下迁移并且托盘或盘中的反应产品在其达到期望的状态时向上迁移。废气可以循环利用。

主权项

一种化学气相沉积反应器系统，包括：具有内部和外部的反应容器，所述反应容器包括至少一个壁，所述反应容器的内部充满包括第一气体化学物料的气体；机械装置，用于流化以及将多个粉尘、球珠或其他颗粒暴露于包括第一气体化学物料的气体；所述机械装置包括至少一个位于所述反应容器的内部的盘，所述盘具有底面、边缘以及封闭的边缘壁，所述边缘壁从所述盘的边缘周围的所述盘的底面向上延伸，所述边缘壁具有敞开的顶端，以便允许所述多个粉尘、球珠或其他颗粒越过所述边缘壁的顶端；所述机械装置还包括被耦合至所述盘的至少一个机械振动组件驱动，并且可操作用于机械地振动所述盘；用于加热的装置，用于将所述粉尘、球珠或其他颗粒加热至比第一气体化学物料的化学分解温度更高的温度，从而使与表面接触的第一气体化学物料化学分解并且在所述表面上沉积第二化学物料；其中所述用于加热的装置封闭在密封容器中，所述密封容器包含的隔热材料在除了形成盘的底面的部分之外的所有侧面环绕所述用于加热的装置；第一气体化学物料供应子系统，被耦合至反应容器的内部，所述第一气体化学物料从在加热时分解成一个或多个第二化学物料的化学物料中选择，所述第二化学物料是非挥发性物料并且易于近距离地沉积在热表面上；以及收集子系统，相对地位于所述盘之下并从所述盘的边缘延伸足够距离以保证能够接收大部分得到的反应产品，所述反应产品在所述边缘壁的顶端从所述盘振动出来。