一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统

摘要

一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，包括燃烧桶、粉尘集尘机、尾气净化塔；所述燃烧桶下部设置有废气进气口，顶部设置有燃烧桶顶部出气口；所述粉尘集尘机与所述燃烧桶顶部出气口通过管道连通；所述粉尘集尘机出口通过管道设有一排风机；所述尾气净化塔顶部设有尾气净化塔进气口，所述尾气净化塔进气口与所述排风机通过管道连通；所述尾气净化塔顶部设有排气口；所述尾气净化塔包括燃烧室、洗涤室；所述燃烧室下部与所述洗涤室下部相通。本发明通过设置集尘机强有力的保证尾气排放的安全性，解决了背景技术在生产设备运行中粉尘量大，清理维护不及时造成后段处理设备堵塞结垢等问题，大大减轻了对燃烧塔设备的影响，提高了系统处理的效果。

主权项

一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于：包括燃烧桶、粉尘集尘机、尾气净化塔；所述燃烧桶下部设置有废气进气口，顶部设置有燃烧桶顶部出气口；所述粉尘集尘机与所述燃烧桶顶部出气口通过管道连通；所述粉尘集尘机出口通过管道设有一排风机；所述尾气净化塔顶部设有尾气净化塔进气口，所述尾气净化塔进气口与所述排风机通过管道连通；所述尾气净化塔顶部设有排气口；所述尾气净化塔包括燃烧室、洗涤室；所述燃烧室下部与所述洗涤室下部相通；所述洗涤室外部下方设有一水箱。