MEMS麦克风

摘要

一种MEMS麦克风，由于上极板的中心区域或下极板的中心区域设有凹部，上极板的中心区域和下极板的中间区域的距离较远，构成可变电容结构的上极板(例如作为振膜)和下极板(例如作为背板)之间不容易粘连，有效降低出现振膜和背板粘连问题的几率，提高成品率。同时，由于可变电容的极板的中心区域不需要被挖掉，有效利用振膜机械灵敏度最高的区域，最大程度保持了MEMS麦克风的灵敏度。

主权项

一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基底、支撑部、上极板和下极板，所述基底设有贯通中间的开口，所述下极板跨设于所述开口，所述支撑部固定于所述下极板上，所述上极板贴于所述支撑部上，所述支撑部、所述上极板和所述下极板之间形成容腔，所述上极板和/或下极板的中间区域设有相对于所述容腔的凹部，所述上极板和所述下极板之间绝缘。