发明名称 |
制造有机场效应晶体管的方法和有机场效应晶体管 |
摘要 |
本公开内容涉及制造有机场效应晶体管的方法,所述方法包括如下步骤:在基底上设置栅电极(1)和分配给栅电极(1)的用于电绝缘的栅绝缘体(2),在所述栅绝缘体(2)上沉积第一有机半导体层(3),生成第一电极(4)和分配给第一电极(4)的用于电绝缘的电极绝缘体(5),在第一有机半导体层(3)和电极绝缘体(5)上沉积第二有机半导体层(6),以及生成第二电极(7),其中所述方法还包括以下步骤中的至少一个:在生成第一电极(4)和电极绝缘体(5)之前在第一有机半导体层(3)上生成第一掺杂材料层(13)使得电极绝缘体(5)与第一电极(4)至少部分地生成在第一掺杂材料层(13)上,并且在生成第二电极(7)之前在第二有机半导体层(6)上生成第二掺杂材料层(14)使得第二电极(7)至少部分地生成在第二掺杂材料层(14)上。此外,提供了一种有机场效应晶体管。 |
申请公布号 |
CN105340097A |
申请公布日期 |
2016.02.17 |
申请号 |
CN201480023257.7 |
申请日期 |
2014.04.15 |
申请人 |
诺瓦尔德股份有限公司 |
发明人 |
汉斯·克勒曼;比约恩·吕塞姆;卡尔·利奥;阿伦·京特 |
分类号 |
H01L51/05(2006.01)I;H01L51/10(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/05(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王潜;郭国清 |
主权项 |
一种制造有机场效应晶体管的方法,所述方法包括如下步骤:‑在基底上设置栅电极(1)和分配给所述栅电极(1)的用于电绝缘的栅绝缘体(2),‑将第一有机半导体层(3)沉积在所述栅绝缘体(2)上,‑生成第一电极(4)和分配给所述第一电极(4)的用于电绝缘的电极绝缘体(5),‑将第二有机半导体层(6)沉积在所述第一有机半导体层(3)和所述电极绝缘体(5)上,以及‑生成第二电极(7),其中所述方法还包括以下步骤中的至少一个:‑在生成所述第一电极(4)和所述电极绝缘体(5)之前在所述第一有机半导体层(3)上生成第一掺杂材料层(13),使得所述电极绝缘体(5)与所述第一电极(4)至少部分地生成在所述第一掺杂材料层(13)上,以及‑在生成所述第二电极(7)之前在所述第二有机半导体层(6)上生成第二掺杂材料层(14),使得所述第二电极(7)至少部分地生成在所述第二掺杂材料层(14)上。 |
地址 |
德国德累斯顿 |