发明名称 制造有机场效应晶体管的方法和有机场效应晶体管
摘要 本公开内容涉及制造有机场效应晶体管的方法,所述方法包括如下步骤:在基底上设置栅电极(1)和分配给栅电极(1)的用于电绝缘的栅绝缘体(2),在所述栅绝缘体(2)上沉积第一有机半导体层(3),生成第一电极(4)和分配给第一电极(4)的用于电绝缘的电极绝缘体(5),在第一有机半导体层(3)和电极绝缘体(5)上沉积第二有机半导体层(6),以及生成第二电极(7),其中所述方法还包括以下步骤中的至少一个:在生成第一电极(4)和电极绝缘体(5)之前在第一有机半导体层(3)上生成第一掺杂材料层(13)使得电极绝缘体(5)与第一电极(4)至少部分地生成在第一掺杂材料层(13)上,并且在生成第二电极(7)之前在第二有机半导体层(6)上生成第二掺杂材料层(14)使得第二电极(7)至少部分地生成在第二掺杂材料层(14)上。此外,提供了一种有机场效应晶体管。
申请公布号 CN105340097A 申请公布日期 2016.02.17
申请号 CN201480023257.7 申请日期 2014.04.15
申请人 诺瓦尔德股份有限公司 发明人 汉斯·克勒曼;比约恩·吕塞姆;卡尔·利奥;阿伦·京特
分类号 H01L51/05(2006.01)I;H01L51/10(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I 主分类号 H01L51/05(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 王潜;郭国清
主权项 一种制造有机场效应晶体管的方法,所述方法包括如下步骤:‑在基底上设置栅电极(1)和分配给所述栅电极(1)的用于电绝缘的栅绝缘体(2),‑将第一有机半导体层(3)沉积在所述栅绝缘体(2)上,‑生成第一电极(4)和分配给所述第一电极(4)的用于电绝缘的电极绝缘体(5),‑将第二有机半导体层(6)沉积在所述第一有机半导体层(3)和所述电极绝缘体(5)上,以及‑生成第二电极(7),其中所述方法还包括以下步骤中的至少一个:‑在生成所述第一电极(4)和所述电极绝缘体(5)之前在所述第一有机半导体层(3)上生成第一掺杂材料层(13),使得所述电极绝缘体(5)与所述第一电极(4)至少部分地生成在所述第一掺杂材料层(13)上,以及‑在生成所述第二电极(7)之前在所述第二有机半导体层(6)上生成第二掺杂材料层(14),使得所述第二电极(7)至少部分地生成在所述第二掺杂材料层(14)上。
地址 德国德累斯顿