| 发明名称 | 一种半导体抓取装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种半导体抓取装置，包括：一手爪关节，所述手爪关节与机械臂固定连接，且所述手爪关节的下端面上开设有一凹槽；设置于所述凹槽中的万向节，所述万向节的第一端与所述手爪关节固定连接；竖直设置的摆臂，所述摆臂的第一端与所述万向节的第二端固定连接；与所述摆臂的第二端固定连接的法兰；以及水平设置的真空吸盘，所述真空吸盘与所述法兰固定连接。本发明提供的半导体抓取装置结构简单，且能够自动调整真空吸盘与放置有半导体的工作台面的平行度，提高了工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN105336657A | 申请公布日期 | 2016.02.17 |
| 申请号 | CN201510901611.8 | 申请日期 | 2015.12.09 |
| 申请人 | 北京中电科电子装备有限公司 | 发明人 | 张文斌;刘国敬;王仲康;杨生荣 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;安利霞 |
| 主权项 | 一种半导体抓取装置，其特征在于，包括：一手爪关节(1)，所述手爪关节(1)与机械臂固定连接，且所述手爪关节(1)的下端面上开设有一凹槽(101)；设置于所述凹槽(101)中的万向节(2)，所述万向节(2)的第一端与所述手爪关节(1)固定连接；竖直设置的摆臂(3)，所述摆臂(3)的第一端与所述万向节(2)的第二端固定连接；与所述摆臂(3)的第二端固定连接的法兰(4)；以及水平设置的真空吸盘(5)，所述真空吸盘(5)与所述法兰(4)固定连接。 | ||
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室 | ||