一种含氟组合物及其应用

摘要

本发明公开了一种含氟组合物及其应用，该含氟组合液中使用的非金属腐蚀抑制剂，即聚乙烯吡咯烷酮与醋酸乙烯酯的共聚物；其特点是在含氟组合液中，对多晶硅、二氧化硅如硼磷掺杂的二氧化硅等非金属材料的腐蚀均具有抑制作用。而含氟组合物是在半导体工业中广泛使用的清洗液之一，而对非金属腐蚀速率的控制，一直是其追求的长期目标，故非金属腐蚀速率较小的含氟组合物进一步拓宽了其在半导体晶片清洗领域的应用前景。

主权项

一种含氟组合物在清洗半导体晶片领域中抑制非金属层腐蚀速率中的应用，包含：聚乙烯吡咯烷酮与醋酸乙烯酯的共聚物、氟化物和载体，其中所述氟化物选自氟化氢、氟化氢铵、四甲基氟化铵和三羟乙基氟化铵中的一种或多种。