| 摘要 |
본 발명은, 광 윈도우(12)와, 이 광 윈도우(12)에 대해 제1 위치로부터 하나 이상의 회전축(14, 16)을 중심으로 하나 이상의 제2 위치로 조정될 수 있는 미러 소자(10)와, 검출면을 구비하고 검출면의 광도를 측정하여 상응하는 센서 신호(A, B)를 공급하는 광학 센서(34a, 34b)와[이때 광 윈도우(12), 제1 위치에서의 미러 소자(10) 및 검출면은, 미러 소자(10)에 의해 광 윈도우(12)로 편향된 광학 빔(30) 중에서 광 윈도우(12)에서 반사된 성분(32)이 적어도 부분적으로 검출면에 도달하는 방식으로 상호 간에 배치되도록 설계된다], 광 윈도우(12)에 대한 미러 소자(10)의 현재 위치와 관련하고, 그리고/또는 편향된 광학 빔(30)의 현재 세기와 관련한 정보를 센서 신호(A, B)를 바탕으로 평가하도록 설계되는 평가 유닛을 포함하는 마이크로 기계 부품에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 마이크로 기계 부품을 작동시키기 위한 방법에 관한 것이다. |
