| 摘要 |
시료의 평면영역으로부터 나온 X선을 공간적으로 기하학적 대응을 시켜서 평면적인 X선 토포그래프로서 검출하고 상기 X선 토포그래프를 신호로서 출력하는 X선 토포그래피 장치와, 시료의 평면영역의 광상을 수광하여 그 광상을 평면위치정보에 의하여 특정된 신호로서 출력하는 2차원 이미징 디바이스와, X선 토포그래프의 출력신호와 이미징 디바이스(6)의 출력신호에 의거하여 합성화상 데이터를 생성하는 화상합성용의 연산제어장치를 구비하는 X선 회절장치이다 |
