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发明名称 炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法
摘要
申请公布号 JP5865777(B2) 申请公布日期 2016.02.17
申请号 JP20120112101 申请日期 2012.05.16
申请人 三菱電機株式会社 发明人 田中 貴規;三谷 陽一郎;川畑 直之;冨田 信之;黒岩 丈晴
分类号 H01L21/205;C23C16/42;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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