发明名称 窒化アルミニウム結晶の製造方法
摘要
申请公布号 JP5865728(B2) 申请公布日期 2016.02.17
申请号 JP20120038431 申请日期 2012.02.24
申请人 住友金属鉱山株式会社;国立大学法人東北大学 发明人 福山 博之;安達 正芳;田中 明和;杉山 正史
分类号 C30B29/38;C30B19/04;H01L21/208 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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