晶棒定位装置输出轴机构

摘要

本发明晶棒定位装置输出轴机构，包括：输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接。本发明晶棒定位装置输出轴机构摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。

主权项

晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，包括：输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接；其中，所述滑移柱塞为中空的设计，在所述滑移柱塞内设有弹簧；在所述滑移柱塞相对于与所述输出轴连接端的另外一端上设有石墨耳座。