发明名称 |
晶片封装体及其形成方法 |
摘要 |
本发明提供一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一第一基底;一第二基底,设置于该第一基底之上,其中该第二基底包括一下半导体层、一上半导体层、及该下半导体层与该上半导体层之间的一绝缘层,且该下半导体层的一部分电性接触该第一基底上的至少一接垫;一导电层,设置于该第二基底的该上半导体层之上,且电性连接该下半导体层的与该至少一接垫电性接触的该部分;一开口,自该上半导体层朝该下半导体层延伸并延伸进入该下半导体层;以及一保护层,设置于该上半导体层及该导电层之上,其中该保护层延伸至该开口的部分侧壁上,且不覆盖该开口中的该下半导体层。 |
申请公布号 |
CN103426856B |
申请公布日期 |
2016.02.17 |
申请号 |
CN201310184941.0 |
申请日期 |
2013.05.17 |
申请人 |
精材科技股份有限公司 |
发明人 |
张恕铭;黄郁庭;刘沧宇;何彦仕 |
分类号 |
H01L23/498(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/498(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇 |
主权项 |
一种晶片封装体,其特征在于,包括:一第一基底;一第二基底,设置于该第一基底之上,其中该第二基底包括一下半导体层、一上半导体层、及该下半导体层与该上半导体层之间的一绝缘层,且该下半导体层的一部分电性接触该第一基底上的至少一接垫;一导电层,设置于该第二基底的该上半导体层之上,且电性连接该下半导体层的与该至少一接垫电性接触的该部分;一开口,自该上半导体层朝该下半导体层延伸并延伸进入该下半导体层;以及一保护层,设置于该上半导体层及该导电层之上,其中该保护层延伸至该开口的部分侧壁上,且不覆盖该开口中的该下半导体层。 |
地址 |
中国台湾桃园县中坜市中坜工业区吉林路23号9F |