| 发明名称 | 光学薄膜检测装置及缺陷检测方法 | ||
| 摘要 | 本公开提供一种光学薄膜检测装置及缺陷检测方法，该光学薄膜检测装置包括：正光源，设于待检测薄膜的上方；UV光源；及感测器，设置在该待检测薄膜上方，该感测器能够获取来自该待检测薄膜由正光源的照射后的反射而产生的第一图像以及由UV光源的照射后而形成的第二图像，并将该第一、第二图像的参数与预设参数比较，根据比较结果做出缺陷判断。本公开的光学薄膜检测装置能够检测出薄膜上的透明缺陷，从而提高检测成功率及产品合格率。 | ||
| 申请公布号 | CN105334217A | 申请公布日期 | 2016.02.17 |
| 申请号 | CN201410322932.8 | 申请日期 | 2014.07.08 |
| 申请人 | 上海和辉光电有限公司 | 发明人 | 黄俊杰;陈韦廷;康嘉滨 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 李昕巍;郑特强 |
| 主权项 | 一种光学薄膜检测装置，包括：正光源，设于待检测薄膜的上方；UV光源；及感测器，设置在该待检测薄膜上方，该感测器能够获取来自该待检测薄膜由正光源的照射后的反射而产生的第一图像以及由UV光源的照射后而形成的第二图像，并将该第一、第二图像的参数与预设参数比较，根据比较结果做出缺陷判断。 | ||
| 地址 | 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 | ||