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发明名称 基板処理装置および基板処理方法
摘要
申请公布号 JP5865073(B2) 申请公布日期 2016.02.17
申请号 JP20110287744 申请日期 2011.12.28
申请人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 发明人 藤原 直澄;宮 勝彦
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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