| 发明名称 | 用于基板提升设备的力传感系统 | ||
| 摘要 | 一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。 | ||
| 申请公布号 | CN105340072A | 申请公布日期 | 2016.02.17 |
| 申请号 | CN201480036122.4 | 申请日期 | 2014.04.16 |
| 申请人 | 瓦里安半导体设备公司 | 发明人 | 理查·V·起首恩;史考特·E·派滋许;麦可·埃斯波西托;罗伯特·A·波特崔斯;史蒂芬·M·恩尔拉;丹尼尔·A·哈;史考特·C·后登;罗杰·B·费许 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 杨贝贝;臧建明 |
| 主权项 | 一种用以监测在基板提升设备的力的系统，包括：台匣，所述台匣包括台以及可动提升部分，所述可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂；多个力传感元件，分别关联于所述多个提升臂以及所述多个提升梢；以及控制器，用以接收来自所述多个力传感元件的信号，且用以将被接收的所述信号联系至分别施加于所述多个提升梢的力。 | ||
| 地址 | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号 | ||