摘要 |
입사광을 시료에 대하여 수직으로 조사시킴으로써 장치 전체의 소형화를 도모함과 동시에, 광학축의 방향 및 이방성의 크기를 매우 단시간에 측정 가능하게 한다. 레이저(6)로부터 시료(3)에 대하여 수직 방향으로 입사광을 조사하고, 수직 방향으로 반사된 반사광을 하프 미러(7)를 통하여 수광 소자(9)에 이끄는 측정 광학계(4)가 형성되고, 레이저(6)와 하프 미러(7) 사이에 편광자(P)가 배치됨과 아울러, 하프 미러(7)와 수광 소자(9) 사이에 검광자(A)가 배치되고, 하프 미러(7)와 시료(3) 사이에는 편광자(P)에 의해 생성되는 직선 편광을 회전시키는 1/2 파장판(12)과, 지상축의 방향을 1/2 파장판(12)의 지상축에 대하여 ±δ(δ≠nπ/4, n은 정수) 벗어나게 한 초기 위치로부터 1/2 파장판(12)에 대하여 회전 각도가 2배가 되도록 동기적으로 회전 구동되는 1/4 파장판(13)을 배치했다. |