エピタキシャル成長装置および炭化珪素エピタキシャルウエハ製造方法,申请号JP20120158262-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	エピタキシャル成長装置および炭化珪素エピタキシャルウエハ製造方法
摘要
申请公布号	JP5865796(B2)	申请公布日期	2016.02.17
申请号	JP20120158262	申请日期	2012.07.17
申请人	三菱電機株式会社	发明人	冨田信之;三谷陽一郎;田中貴規;川畑直之;黒岩丈晴
分类号	C30B29/36;C23C16/42;C30B25/12	主分类号	C30B29/36
代理机构		代理人
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