微系统

摘要

本发明涉及一种微系统，该微系统具有与周围环境隔开的第一腔和与周围环境隔开的第二腔。该第一腔通过第一接合连接限界并且第二腔通过第二接合连接限界。在此，第一接合连接或者第二接合连接是共晶接合连接或者扩散钎焊连接。

主权项

微系统(100)，具有一与周围环境隔开的第一腔(210)和一与周围环境隔开的第二腔(310)，其中，所述第一腔(210)通过第一接合连接(240)限界并且所述第二腔(310)通过第二接合连接(340)限界，其特征在于，在所述第一腔(210)中存在第一压力(215)，并且在所述第二腔(310)中存在第二压力(315)，其中，所述第一压力(215)和所述第二压力(315)具有不同的数值，所述第二接合连接(340)是共晶接合连接或者扩散钎焊连接，所述第一接合连接(240)通过在第一温度下的热压接合封闭，而第二接合连接(340)通过在比第一温度高的第二温度下的共晶接合或者扩散钎焊封闭。