发明名称 |
阵列基板结构及接触结构 |
摘要 |
本发明公开一种阵列基板结构及接触结构,其接触结构包括:一基板;一主动层,位于该基板上;一绝缘层,位于该主动层上;一层间介电层,位于该绝缘层上;一接触物开口,穿透该层间介电层与该绝缘层的一部,露出该主动层的一部,其中该接触物开口包括一第一凹口部,而该第一凹口部由该层间介电层的一底面、该绝缘层的一侧壁以及该主动层的一顶面所定义而成;以及一导电层,填入该接触开口,并与该主动层电连接。 |
申请公布号 |
CN105334680A |
申请公布日期 |
2016.02.17 |
申请号 |
CN201410402863.1 |
申请日期 |
2014.08.15 |
申请人 |
群创光电股份有限公司 |
发明人 |
刘侑宗;颜崇纹 |
分类号 |
G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1362(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陈小雯 |
主权项 |
一种接触结构,包括:基板;主动层,位于该基板上;绝缘层,位于该主动层上;层间介电层,位于该绝缘层上;接触开口,穿透该层间介电层与该绝缘层的一部,露出该主动层的一部,其中该接触开口包括第一凹口部,而该第一凹口部由该层间介电层的一底面、该绝缘层的一侧壁以及该主动层的一顶面所定义而成;以及导电层,填入该接触开口,并与该主动层电连接。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |