面阵传感器装置及其形成方法

摘要

一种面阵传感器装置及其形成方法，面阵传感器装置包括：驱动电路和传感器电路，驱动电路和传感器电路形成在同一个衬底表面上，所述传感器电路包括由像素单元组成的像素单元阵列和连接所述像素单元的驱动线，所述驱动电路的输出端连接所述传感器电路的驱动线，所述驱动电路包括第一晶体管，所述像素单元包括第二晶体管；所述第一晶体管包括第一遮挡层，第二晶体管包括第二遮挡层。本发明技术方案的面阵传感器装置，驱动电路与传感器电路的器件可以制作在同一个衬底上，减小了占用面积，提高了可靠性，并且形成过程可以同步进行，无需增加额外工艺步骤。

主权项

一种面阵传感器装置，其特征在于，包括：驱动电路和传感器电路，驱动电路和传感器电路形成在同一个衬底表面上，所述传感器电路包括由像素单元组成的像素单元阵列和连接所述像素单元的驱动线，所述驱动电路的输出端连接所述传感器电路的驱动线，所述驱动电路包括第一晶体管，所述像素单元包括第二晶体管；所述第一晶体管包括：第一导电层，位于所述衬底表面；第一绝缘层，覆盖所述第一导电层；第一半导体层，位于所述第一绝缘层表面，所述第一半导体层与所述第一导电层相对应；第二导电层，覆盖所述第一半导体层，所述第二导电层内具有第一开口，所述第一开口暴露所述第一半导体层的部分表面；第二绝缘层，覆盖所述第二导电层并充满所述第一开口；第一遮挡层，位于所述第二绝缘层表面，所述第一遮挡层与所述第一开口相对应；所述第二晶体管包括：第三导电层，位于所述衬底表面；第三绝缘层，覆盖所述第三导电层；第二半导体层，位于所述第三绝缘层表面，所述第二半导体层与所述第三导电层相对应；第四导电层，覆盖所述第二半导体层，所述第四导电层内具有第二开口，所述第二开口暴露所述第二半导体层的部分表面；第四绝缘层，覆盖所述第四导电层并充满所述第二开口；第二遮挡层，位于所述第四绝缘层表面，所述第二遮挡层与所述第二开口相对应。