基板检查方法

摘要

本发明涉及一种基板检查方法，根据上述基板检查方法，利用包括向固定于载物台的基板照射图案照明的至少一个投影部和用于拍摄基板的图像的摄像头的测定模块，将基板分割为多个观测区域并按顺序进行检查，上述基板检查方法包括：按照检查顺序对多个观测区域进行检查时，针对下一个检查对象观测区域，利用已完成检查的至少一个上一个观测区域相关趋势信息，预测检查对象观测区域相关高度位移量的步骤；针对检查对象观测区域，基于已预测的高度位移量，调整测定模块的高度的步骤；以及利用已完成高度调整的测定模块，检查检查对象观测区域的步骤。如此，利用完成检查的至少一个上一个观测区域的高度趋势信息，对下一个检查对象的观测区域相关测定模块的高度进行调整，从而能够缩短测定时间。

主权项

一种基板检查方法，利用包括向固定于载物台的基板照射图案照明的至少一个投影部和用于拍摄上述基板的图像的摄像头的测定模块，将上述基板分割为多个观测区域并按顺序进行检查，其包括：针对上述多个观测区域，设定检查顺序的步骤；以对象观测区域为基准，相邻的区域不存在已检查完毕的上一个观测区域时，在所述检查对象观测区域和已检查完毕的所述上一个观测区域之间，设定至少一个虚设观测区域的步骤；利用上述虚设观测区域及上述上一个观测区域中的至少一个区域的相关趋势信息，预测上述检查对象观测区域相关高度位移量的步骤；针对上述检查对象观测区域，基于上述已预测的高度位移量，调整上述测定模块的高度的步骤；以及利用已完成高度调整的上述测定模块，检查上述检查对象观测区域的步骤。