| 发明名称 | 靶材组件的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材，所述靶材为钨硅材料；对所述靶材的待焊接面进行喷砂处理；在所述喷砂处理之后，对所述靶材进行冲洗处理；在对所述靶材进行所述冲洗处理之后，对所述靶材的待焊接面进行活化处理；在所述活化处理之后，利用化学镀工艺在所述靶材的待焊接面上形成金属镀层；利用所述金属镀层将所述靶材与背板焊接在一起。所述靶材组件的制作方法使得钨硅材料形成的靶材组件具有足够的结合率和结合强度。 | ||
| 申请公布号 | CN105331938A | 申请公布日期 | 2016.02.17 |
| 申请号 | CN201410370672.1 | 申请日期 | 2014.07.30 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;张涛 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 吴圳添;骆苏华 |
| 主权项 | 一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：提供靶材，所述靶材为钨硅材料；对所述靶材的待焊接面进行喷砂处理；在所述喷砂处理之后，对所述靶材进行冲洗处理；在对所述靶材进行所述冲洗处理之后，对所述靶材的待焊接面进行活化处理；在所述活化处理之后，利用化学镀工艺在所述靶材的待焊接面上形成金属镀层；利用所述金属镀层将所述靶材与背板焊接在一起。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||