BATCH TYPE APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE

摘要

배치식 기판처리 장치(10)가 개시된다. 본 발명에 따른 배치식 기판처리 장치(10)는, 복수개의 기판(50)이 처리되는 배치식 기판처리 장치(10)로서, 복수개의 기판(50)이 로딩/언로딩되는 복수개의 슬롯(s)을 포함하고, 기판처리 공간을 제공하는 챔버(105)를 포함하는 본체(100); 및 본체(100)의 전면에 배치되어 적어도 하나의 슬롯(s)을 개폐하는 도어 유닛(110, 120)을 포함하는 것을 특징으로 한다.