| 摘要 |
光学的な性能による異常と構成上の不具合による異常とを正確に判別することができる光学測定装置を提供する。光学測定装置２は、照明ファイバ３１を介して測定対象物へ照明光を出射する光源部２２と、第１受光ファイバ３２を介して測定対象物で反射した照明光の戻り光を受光する第１受光部２４と、第１受光ファイバ３２を介して第１受光部２４が受光した照明光の照射対象となる反射指標部材で反射した照明光に基づく拡散光、および、外部から入射される光を均一な光として透過させる拡散指標部材と第１受光ファイバ３２とを介して第１受光部２４が受光した外部から入射される光に基づく拡散光それぞれの複数の測定値に基づいて、測定履歴の特性を演算する演算部２９１と、を備える。 |
