| 摘要 |
Ein Verfahren zum Abscheiden von Metallen auf einer hergestellten Aluminiumoxidschicht auf einer Oberfläche eines Werkstücks, während die Oxidschicht eine nanoporöse Oxidschicht mit einer Vielzahl von Nanoporen, die senkrecht oder fast senkrecht zur Oberflächenebene verlaufen, und eine Barriereschicht unten an der nanoporösen Oxidschicht umfasst, sollte verbessert werden, um stabilere Wachstumsbedingungen während des elektrochemischen Abscheidens und Erreichen eines hohen Füllfaktors zu erreichen. Dies wird durch Definieren eines optimalen Füllpotentials erreicht, bevor eine elektrochemische Abscheidung im potentiostatischen Modus eines erwünschten Metalls in einem Bad umfassend eine Metallkomponente in Form potentiostatischer Umkehrpuls-Abscheidung durchgeführt wird, umfassend Zyklen von aufeinanderfolgenden Pulsen eines kurzen kathodischen Pulses bei der bestimmten optimalen Füllspannung für kathodische Pulszeiten (&Dgr;t1) von mindestens 8 ms und eines darauffolgenden kurzen anodischen Pulses bei einer anodischen Pulsspannung mit anodischen Pulszeiten (&Dgr;t2) höher oder gleich 0 ms. |
