LIQUID PRECURSOR COMPOSITIONS, PREPARATION METHODS THEREOF, AND METHODS FOR FORMING LAYER USING THE COMPOSITION

摘要

액체 전구체 조성물, 상기 액체 전구체 조성물의 제조 방법, 및 상기 액체 전구체 조성물을 이용한, 예를 들어, CVD 및 ALD와 같은 기상 증착 공정에서, 막의 형성 방법이 제공된다. 일부 구현예에 있어서, 상기 액체 전구체 조성물은 식 M(DAD)의 금속 화합물을 포함하고, 여기서 M은 Co 또는 Ni이고 DAD는 다이아자다이엔 리간드이다.