| 摘要 |
본 발명의 과제는, 종래는 검출할 수 없었던 극히 미세한 긁힘 흠집, 크랙 등을 검출할 수 있는 평판 기판 표면 상태 검사 장치를 제공하는 것이다. 평판 기판의 표면측에 기판 법선에 대해 소정의 입사각으로 레이저광을 표면에 서로 다른 방향으로부터 조사하는 적어도 2개의 투광계와, 표면측에 설치되고, 레이저광의 조사점을 기준으로 하여, 투광계와 반대측의 위치에, 각각 투광계에 대향하도록 설치된 적어도 2개의 수광계와, 각 레이저광이 평판 기판의 표면에 조사되는 레이저광 조사 영역이 직사각형으로 되도록 레이저광을 성형하는 레이저광 성형 수단과, 직사각형으로 성형된 각 레이저광 조사 영역의 이격을, 직사각형의 전사 방향의 투영 길이 또는 각 레이저광 조사 영역이 겹치지 않는 길이인 비중복 길이로, 각 투광계와 각 수광계를 조정하는 조사 영역 이격 조정 수단과, 축 방향으로 이송하는 소정의 간격을, 투영 길이 또는 상기 비중복 길이 이상 또는 상기 투영 길이 또는 비중복 길이의 정수배로 조정하는 이송 간격 조정 수단을 구비한다. |
