| 发明名称 |
VAPOR DEPOSITION DEVICE AND VAPOR DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
증착 장치(50)는, Y축 및 X축 방향의 길이가 피성막 기판(200)보다도 짧은 복수의 증착 마스크(80)를 구비하고, Y축 방향에 인접하는 증착 마스크(80)는 X 축방향으로 어긋나게 하여 배치되어 있으며, Y축 방향에 인접하는 각 마스크 개구군 영역(82)이 X축 방향에 겹치는 중첩 영역(83)에서는 평면에서 볼 때 Y축 방향의 개구 길이가 각 마스크 개구군 영역(82)의 외측을 향해 점차 짧아진다. |
| 申请公布号 |
KR101594285(B1) |
申请公布日期 |
2016.02.15 |
| 申请号 |
KR20157021826 |
申请日期 |
2014.01.28 |
| 申请人 |
샤프 가부시키가이샤 |
发明人 |
오치 다카시;가와토 신이치;고바야시 유우키;니보시 마나부;이노우에 사토시;츠카모토 유토;기쿠치 가츠히로;이치하라 마사히로;마츠모토 에이이치 |
| 分类号 |
C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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