METAL NITRIDE MATERIAL FOR THERMISTORS, METHOD FOR PRODUCING SAME, AND FILM-TYPE THERMISTOR SENSOR

摘要

필름 등에 비소성으로 직접 성막할 수 있고, 높은 내열성을 가지며 신뢰성이 높은 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서를 제공한다. 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : VAlN(0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.4 ≤ z ≤ 0.5, x ＋ y ＋ z ＝ 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가 육방정계의 우르츠광형의 단상이다. 이 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법은, V－Al 합금 스퍼터링 타깃을 사용하여 질소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시하여 성막하는 성막 공정을 갖고 있다.