| 发明名称 |
MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM(MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES |
| 摘要 |
더미 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 구조들, 제조 방법들 및 설계 구조들이 개시된다. 상기 방법은 캐비티 구조 내에 제공되는 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 빔 구조로부터 연장되는 범퍼를 형성하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 상기 MEMS 빔으로부터 상기 캐비티 구조의 대향 측면 상에 더미 랜딩 구조를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 MEMS 빔이 작동되지 않는 상태에 있을 때 상기 MEMS 빔은 상기 범퍼로부터 측면으로(laterally) 오프셋된다. |
| 申请公布号 |
KR20160016851(A) |
申请公布日期 |
2016.02.15 |
| 申请号 |
KR20157035165 |
申请日期 |
2014.03.25 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
STAMPER ANTHONY K. |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02;H01L29/06 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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