| 摘要 |
본 발명은 개선된 불소가스 생성장치를 제공한다. 상기 불소가스 생성장치는 불화수소를 함유한 전해액을 수용하는 전해조, 상기 전해액 내에 침지된 한 쌍의 캐소드들, 상기 각 캐소드는 섬 형태를 가지며 정렬 배치된 복수 개의 가스홀들을 구비하고, 상기 캐소드들 사이에 배치되고 상기 전해액 내에 침지된 애노드, 및 상기 각 캐소드가 상기 애노드를 바라보는 면에 대해 반대면에 배치된 냉각코일들을 포함 한다. 이에 따라, 불소생성 효율을 향상시키는 효과가 있다. |
