MEMS MEMS DEVICES INTERFACE CIRCUITS AND METHODS OF MAKING THEREOF

摘要

본 발명의 실시예에 따르면, 마이크로 전기기계 시스템(MEMS) 디바이스는 제 1 플레이트, 제 1 플레이트 위에 배치된 제 2 플레이트, 및 제 1 플레이트와 제 2 플레이트 사이에 배치된 제 1 가동 플레이트를 포함한다. MEMS 디바이스는 제 1 가동 플레이트와 제 2 플레이트 사이에 배치된 제 2 가동 플레이트를 더 포함한다.