レーザビームパルスのタイミングを調整して極端紫外線光注入を調節する方法

摘要

【課題】発射されるレーザビームパルスのタイミング調整によって、レーザ生成プラズマ極端紫外線光システムから出力されるエネルギ線量を制御する方法を提供する。【解決手段】ストロボ発射の間、ＥＵＶの線量ターゲットが達成されるまで小滴にレーザ光を当てるようにパルスのタイミングを調整する。いったん蓄積ＥＵＶが線量ターゲットに達したら、パケットの残りの間は小滴にレーザを当てないようにパルスのタイミングを調整し、これによりパケットのその部分の間に追加のＥＵＶ光の発生を防ぐ。連続バーストモードでは、蓄積バーストエラーが閾値以上になるまで小滴を照射するようにパルスのタイミングを調整する。蓄積バーストエラーが閾値以上になったら、次の小滴を照射しないように次のパルスのタイミングを調整する。このようにパルスのタイミングを操作して、下流の注入要件にいっそう正確に合致し得る一定の所望の線量ターゲットを得る。【選択図】図５