微小流体表面処理システムおよび動作方法（表面までの距離制御が自己調整される微小流体表面処理システム）

摘要

【課題】微小流体表面処理システムの表面までの距離制御を自己調整および自動化することを可能にする方法およびシステムを提供する。【解決手段】本システム（１）は、表面処理流体（２５）をその処理流体開口（２１）から分注するように設計された処理流体回路（２０）を備える微小流体プローブ・ヘッド（１０）と、処理されるべき表面（Ｓ）に向かって微小流体プローブ・ヘッドに力を印加するまたは印加される力を変調するように構成された機構（４０）、好ましくはリンク機構と、持ち上げ流体回路（３０）であって、微小流体プローブ・ヘッドと一体であり、処理流体回路とは異なり、かつ表面（Ｓ）のレベルで、機構（４０）によって印加されるまたは変調される力に抗するように圧力によって、持ち上げ流体（３５）をその持ち上げ流体開口（３１）から分注するように設計された、持ち上げ流体回路と、を備える。本発明は、関連する動作方法に及ぶ。【選択図】図１